meuthw-9-330|株式会社エムディコムは高照度、高信頼性のエキシマランプの製造を行っております。

株式会社エム・ディ・コム
株式会社エム・ディ・コム
ランプユニット/コンベア搬送式
MEUTHW-9-330
MEUTHW-9-330

圧倒的均一性

MEUTHW-9-330はφ300ウェハーをターゲットにデザインされたエキシマ面照射ユニットです。40mmピッチで9本のランプを設置&個々のランプが照度調整可能な為、圧倒的均一性の面照射UV処理が可能になりました。
また、新型空冷RF電源&ハイパワーランプを搭載しており、高照度かつ安定的なUV出力を実現しました。

参考仕様 Specifications

ランプ Xe (キセノン) エキシマランプ
波長 172nm
ランプ搭載数 9本*1
照射部サイズ 430×530×150(H)mm*1
開口部(石英窓サイズ) 320mm角(350mm角)
照度 120 mW/cu 以上(管面)
40 mW/cu 以上(窓面)
照度均一性 ±5%以内 (9点測定)
meuthw-9-330data
■ Note
*1 ランプ本数、有効長、照射装置サイズ:カスタマイズ対応
用途:
*SiN膜 SiO2膜スピード形成
*PHPS(Per Hydro Poly Silazan)硬化
*ウェハ表面洗浄 
*レジスト剥離 アッシングなど

このページの先頭に戻る

株式会社エム・ディ・コム

Copyrightc M.D.COM.inc. All Rights Reserved.