| 簡易実験装置 |
| MECL-02Uシリーズ 研究開発用簡易型バッチ式エキシマ照射装置 |
| MECL-02U | MECL-02U |
簡易実験装置
MECL-02Uは電源・照射室一体型のバッチ式エキシマ照射装置です。
電源が空冷の為、AC100Vのみで使用可能です。
小さな試料（約25mm□以内）を照射実験するのに適しております。
参考仕様 Specifications
| ランプ | Xe (キセノン) エキシマランプ |
| 波長 | 172nm |
| ランプ搭載数 | 1本 |
| 有効発光長 | 150mm～200mm |
| 照度 ………… 標準 | 70 mW/c㎡ 以上 *1 |
| 照度均一性 | ±10%以内 |
| 照射距離調整機能 | 2㎜～25㎜（スペーサーによる調整） |
| N2流量計 | 有り |
| CDA流量計 | 有り |
| 排気設備 | 排気ブロアー＆オゾンフィルター搭載（別置き） |
| オゾンリークモニター | オプション |
| ■ Note *1 大気中管面測定、点灯直後（照度計C9536/H9535-172にて測定） |
