| ランプユニット/コンベア搬送式 |
| MEUTH-3W-3000 |
独創的デザイン
弊社では2M以上のランプを制作する事が困難であり、今まで2m以上の有効長を得るためには1Mクラスのランプ2本を千鳥配置させ必用有効長を得てきました。
しかし、千鳥配置ユニットはランプ1本分の光量に対してランプ2本分のスペースが必要な為、必要以上に装置サイズが大きくなる問題がありました。
MEUTH-3W-3000はこの度開発に成功した弊社独自の技術（突き当て型ランプ）を使用することにより、ランプ1本分のスペースで有効長3M（突き当て型1550㎜ランプX2本）を実現しました。
洗浄装置やR to R装置に最小限のスペースでエキシマUV装置を設置出来ることを可能に致しました。2M~3Mのいかなる有効長に無駄なく対応可能です。
参考仕様 Specifications
| ランプ | 高照度Xe (キセノン) エキシマランプ |
| 波長 | 172nm |
| 有効長 | 3000mm*1 |
| ランプ搭載数 | 6本*1(1550mm 突き当てランプ6本搭載) |
| 照射部サイズ | 3500×450×450(H)mm |
| 照度 | 100 mW/c㎡ 以上(管面)*2 |
| 照度均一性 | ±10%以内 |
| ■ Note *1 ランプ本数、有効長、照射装置サイズ：カスタマイズ対応 *2 大気中管面測定、点灯直後（照度計C9536/H9535-172にて測定） |
| 用途: *大型基板/フィルム表面改質 洗浄等 |
