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エムディコム製ランプは照射面側に電極を持たない構造の為、光の遮りがなく、透過や反射損失もほとんどなく効率が高い。
個々のランプホルダーよりランプ管壁に沿って窒素・CDAを噴出し、効率よくオゾンを生成し、少量で均一に酸素濃度制御が可能です。
The structure of lamp can irradiate direct VUV light with out quartz window.
The loss of the optical transmission and the reflection is little and efficiency is high.
The structure becomes simple，and it is possible to low-cost miniaturize it.

エム・ディ・コムのエキシマ装置
主な用途
・ガラス・フィルム・ウエハ・フォトマスクの洗浄・表面改質
　液晶基板・ITO・ポリイミド・PET等の洗浄・改質
　膜付・塗布・塗装前の密着性の向上
　CVD・コータ・スプレー・エッチング前処理
　レジスト残渣・有機物のアッシング
・フィルム・ガラス・樹脂等の張り合わせ
　表面活性　張り合わせ前処理　密着・接着性向上
　樹脂同士のノリ無・接着剤無接合
　PET/PET，PMMA/PMMA，シリコーンゴム等ノリ無し接合　μTAS等